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產品應用

晶圓舉昇

晶圓舉昇

產品特點
  • 採用重點：三軸同動，省空間, 定位精準的移動
  • 效益評估：晶圓穩定上下運動,克服傳統氣壓不同步的問題與不易控制的缺點
  • 適用產品：MINI滑台

適用產品